시스템 82-WIN C-V 시스템

구분 번호:SYSTEM82-WIN


키슬리 C-V 소프트웨어는 측정및 계산된 파라미터들의 광범위한 분석을 제공하여 반도체 FAB이 시장 관리 및 디바이스의 수율 관리 시간을 단축하는 데도움을 줍니다. 키슬리의 솔루션은 다음을 포함하 는 어플리케이션용으로 전세계에서 사용되고 있습니다.
    •     새로운 반도체 프로세스 개발 및 통합
    •     thin oxide, high-k 및 low-k 유전체 등의신소재 및 디바이스 구조 연구 및 개발
    •     Metalization 이후 프로세스 특성 분석
    •     디바이스 신뢰성 분석
    •     고장 메커니즘(failure mechanism) 분석

시스템 82-WIN은 병렬 C-V테스트를 할 수 있어 저주파(quasistatic) 및 고주파 C-V 측정이 단일 전압 스윕 내에서 수행될 수 있습 니다.키슬리의 독보적인 이 병렬 기법은 C-V 측정의 정확도를 향상시켰으며 반복 측정, 이론 곡선 (theoreticalcurve) 및 도핑 프로파일 가정(doping profile assumption)이 필요하지 않습니다. I-V 측정을 포함한완벽한 통합 시스템인 병렬 C-V 테스트는 여러 가지 부가 혜택을 제공하는데 전압 스트레스로 인한 첫번째와 두번째 스윕 사이의디바이스 특성 변화 때문에 발생하는 에러를 방 지하며 여러 가지 원인에 의해 발생하는 측정 곡선 얼라인먼트 에러를 염려할필요가 없습니다. 이 솔루션은 하드웨어 및 소프트웨어 통합 문제를 최소화하는 한편 자동화된 테스트 시퀀스는 생산 성 향상에도도움이 됩니다.



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